TY  - RPRT
TI  - Epitaxial Recovery of beta-Ga2O3 after High Dose Implantation
AU  - Tianhai Luo
AU  - Katie R. Gann
AU  - Cameron A. Gorsak
AU  - Hari P. Nair
AU  - R. B. van Dover
AU  - Michal O. Thompson
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2512.12148
ID  - 2512.12148
ER  -