TY  - RPRT
TI  - Hybrid electrostatic-piezo MEMS photonic integrated modulators
AU  - Thuy-Linh Le
AU  - Hardit Singh
AU  - Julia M. Boyle
AU  - Matthew Zimmermann
AU  - Andrew J. Leenheer
AU  - Daniel Dominguez
AU  - Matt Eichenfield
AU  - Mark Dong
PY  - 2025
DO  - 10.1063/5.0316551
UR  - https://arxiv.org/abs/2512.12383
ID  - 2512.12383
ER  -