TY  - RPRT
TI  - Dynamic Imaging of Periodic Structures using Extreme Ultraviolet Scatterometry
AU  - Brendan McBennett
AU  - Michael Tanksalvala
AU  - Emma E. Nelson
AU  - Theodore H. Culman
AU  - Yunhao Li
AU  - Jiayi Liu
AU  - Ethan Berk
AU  - Albert Beardo
AU  - James Harford
AU  - Justin Shaw
AU  - Henry C. Kapteyn
AU  - Margaret M. Murnane
AU  - Joshua L. Knobloch
PY  - 2025
DO  - 10.1103/py1n-pg79
UR  - https://arxiv.org/abs/2512.19940
ID  - 2512.19940
ER  -