TY  - RPRT
TI  - Wafer-Scale Integration of Piezo- and Ferroelectric Al0.64Sc0.36N Thin Films by Reactive Sputtering
AU  - Sanjay Nayak
AU  - Venkata Raveendra Nallagatla
AU  - Ravindra Singh Bisht
AU  - Dmytro Solonenko
AU  - Demian Henzen
AU  - Washim Reza Ali
AU  - Carla Maria Lazzari
AU  - Robert JW Frost
AU  - Andrea Serafini
AU  - Davide Codegoni
AU  - Amalia Balsamo
AU  - Rossana Scaldaferri
AU  - Elaheh Allahyari
AU  - Anirban Ghosh
AU  - Martin Kratzer
AU  - Andrea Picco
AU  - Sonia Costantini
AU  - Andrea Rusconi
AU  - Mohssen Moridi
AU  - Humberto Campanella
AU  - Marco Deluca
AU  - Annalisa De Pastina
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2512.24455
ID  - 2512.24455
ER  -