TY - RPRT TI - Surface Optimization of Superconducting Aluminum Resonators for Robust Quantum Device Fabrication AU - Simon J. K. Lang AU - Ignaz Eisele AU - Alwin Maiwald AU - Emir Music AU - Luis Schwarzenbach AU - Carla Moran-Guizan AU - Johannes Weber AU - Daniela Zahn AU - Thomas Mayer AU - Rui N. Pereira AU - Christoph Kutter PY - 2026 DO - 10.1103/mwsd-q1zm UR - https://arxiv.org/abs/2601.04082 ID - 2601.04082 ER -