TY  - RPRT
TI  - Impact of O concentration on the thermal stability and decomposition mechanism of (Cr,Al)N compared to (Ti,Al)N thin films
AU  - Pauline Kümmerl
AU  - Ganesh Kumar Nayak
AU  - Felix Leinenbach
AU  - Zsolt Czigány
AU  - Daniel Primetzhofer
AU  - Szilárd Kolozsvári
AU  - Peter Polcik
AU  - Marcus Hans
AU  - Jochen M. Schneider
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2601.20691
ID  - 2601.20691
ER  -