TY - RPRT TI - Damage accumulation induced metal-insulator transition through ion implantation of ScN thin films AU - Charlotte Poterie AU - Marc Marteau AU - Per Eklund AU - Thierry Cabioch AU - Jean-Francois Barbot AU - Arnaud le Febvrier PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2602.06757 ID - 2602.06757 ER -