TY  - RPRT
TI  - Physics Guided Exponential Model Design of High Ge Content SiGe Selective Epitaxy for Gate All Around Source/Drain Applications
AU  - Zhigang Li
AU  - Guobin Bai
AU  - Hengwei Cui
AU  - Wenlong Yao
AU  - Jianfeng Gao
AU  - Qifeng Jiang
AU  - Junjie Li
AU  - Junfeng Li
AU  - Yongliang Li
AU  - Huaxiang Yin
AU  - Xiaolei Wang
AU  - Jun Luo
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2602.07925
ID  - 2602.07925
ER  -