TY  - RPRT
TI  - Spatial homogeneity of superconducting order parameter in NbN films grown by atomic layer deposition
AU  - J. Lorenz
AU  - S. Linzen
AU  - M. Ziegler
AU  - G. Oelsner
AU  - R. Stolz
AU  - F. S. Tautz
AU  - F. Lüpke
AU  - E. Il'ichev
PY  - 2026
DO  - 10.1088/1361-6668/ae7838
UR  - https://arxiv.org/abs/2602.10839
ID  - 2602.10839
ER  -