TY  - RPRT
TI  - Transforming Computational Lithography with AC and AI -- Faster, More Accurate, and Energy-efficient
AU  - Saumyadip Mukhopadhyay
AU  - Kiho Yang
AU  - Kasyap Thottasserymana Vasudevan
AU  - Mounica Jyothi Divvela
AU  - Selim Dogru
AU  - Dilip Krishnamurthy
AU  - Fergo Treska
AU  - Werner Gillijns
AU  - Ryan Ryoung han Kim
AU  - Kumara Sastry
AU  - Vivek Singh
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2602.15036
ID  - 2602.15036
ER  -