TY  - RPRT
TI  - Piezoelectric MEMS Phase Modulator for Silicon Nitride Platform in the Visible Spectrum
AU  - Firehun T. Dullo
AU  - Paul C. Thrane
AU  - Nikhil Jayakumar
AU  - Zeljko Skokic
AU  - Christopher A. Dirdal
AU  - Jo Gjessing
AU  - Balpreet S. Ahluwalia
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2602.16577
ID  - 2602.16577
ER  -