TY - RPRT TI - Graphene FET Process and Analysis Optimization in 200 mm Pilot Line Environment AU - Anton Murros AU - Miika Soikkeli AU - Anni Virta AU - Arantxa Maestre AU - Leire Morillo AU - Alba Centeno AU - Amaia Zurutuza AU - Olli-Pekka Kilpi PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2602.17135 ID - 2602.17135 ER -