TY  - RPRT
TI  - Effect of oxygen content on optical, structural, and dielectric properties of Al$_x$Ta$_y$O$_z$$ thin films
AU  - Pavel Ondračka
AU  - Richard Drevet
AU  - Daniel Franta
AU  - Jan Dvořák
AU  - Ivan Ohlídal
AU  - Petr Vašina
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2602.17302
ID  - 2602.17302
ER  -