TY - RPRT TI - Designing electrostatic MEMS-based electron optics: the case of the spiral phase plate AU - Payam Habibdazeh Kavkani AU - Amir H. Tavabi AU - Paolo Rosi AU - Alberto Roncaglia AU - Enzo Rotunno AU - Luca Belsito AU - Sergio Sapienza AU - Stefano Frabboni AU - Rafal E. Dunin-Borkowski AU - Marco Beleggia AU - Vincenzo Grillo PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2602.19730 ID - 2602.19730 ER -