TY  - RPRT
TI  - Quantum Simulations for Extreme Ultraviolet Photolithography
AU  - Tyler D. Kharazi
AU  - Stepan Fomichev
AU  - Shu Kanno
AU  - Takao Kobayashi
AU  - Juan Miguel Arrazola
AU  - Qi Gao
AU  - Torin F. Stetina
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2602.20234
ID  - 2602.20234
ER  -