TY  - RPRT
TI  - Autonomous epitaxial atomic-layer synthesis via real-time computer vision of electron diffraction
AU  - Haotong Liang
AU  - Yunlong Sun
AU  - Ryan Paxson
AU  - Chih-Yu Lee
AU  - Alex T. Hall
AU  - Zoey Warecki
AU  - John Cumings
AU  - Hideomi Koinuma
AU  - Aaron Gilad Kusne
AU  - Mikk Lippmaa
AU  - Ichiro Takeuchi
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2602.20432
ID  - 2602.20432
ER  -