TY - RPRT TI - SegSEM: Enabling and Enhancing SAM2 for SEM Contour Extraction AU - Da Chen AU - Guangyu Hu AU - Kaihong Xu AU - Kaichao Liang AU - Songjiang Li AU - Wei Yang AU - XiangYu Wen AU - Mingxuan Yuan PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2602.20471 ID - 2602.20471 ER -