TY  - RPRT
TI  - SPM-Bench: Benchmarking Large Language Models for Scanning Probe Microscopy
AU  - Peiyao Xiao
AU  - Xiaogang Li
AU  - Xinyi Gao
AU  - Chengliang Xu
AU  - Ben Wang
AU  - Zichao Chen
AU  - Zeyu Wang
AU  - Lin Qu
AU  - Bing Zhao
AU  - Hu Wei
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2602.22971
ID  - 2602.22971
ER  -