TY  - RPRT
TI  - Optimizing CMOS-compatible, superconducting titanium nitride resonators: Deposition conditions and structuring processes
AU  - Simon J. K. Lang
AU  - Alexandra Schewski
AU  - Ignaz Eisele
AU  - Johannes Weber
AU  - Carla Moran-Guizan
AU  - Zhen Lou
AU  - Moritz Singer
AU  - Benedikt Schoof
AU  - Marc Tornow
AU  - Thomas Mayer
AU  - Daniela Zahn
AU  - Rui N. Pereira
AU  - Christoph Kutter
PY  - 2026
DO  - 10.1063/5.0331943
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.00441
ID  - 2603.00441
ER  -