TY  - RPRT
TI  - Study on the Effect of Annealing on Ga$_2$O$_3$ Thin Films Deposited on Silicon by RF Sputtering
AU  - Ana Sofia Sousa
AU  - Duarte M. Esteves
AU  - Tiago T. Robalo
AU  - Mário S. Rodrigues
AU  - Katharina Lorenz
AU  - Marco Peres
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.04327
ID  - 2603.04327
ER  -