TY  - RPRT
TI  - Unlocking extreme doping and strain in epitaxial monocrystalline silicon
AU  - Léonard Desvignes
AU  - Dominique Débarre
AU  - Ludovic Largeau
AU  - Géraldine Hallais
AU  - Gilles Patriarche
AU  - Giacomo Priante
AU  - Eric Ngo
AU  - Olivia Mauguin
AU  - Alberto Debernardi
AU  - Bernard Sermage
AU  - Francesca Chiodi
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.06383
ID  - 2603.06383
ER  -