TY  - RPRT
TI  - High Thermal Conductivity in Back-End-of-Line Compatible AlN Thin Films
AU  - Xufei Guo
AU  - Zirou Chen
AU  - Zifeng Huang
AU  - Yuxiang Wang
AU  - Jinwen Liu
AU  - Zhe Cheng
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.07115
ID  - 2603.07115
ER  -