TY - RPRT TI - ALD Oxidant as A Tuning Knob for Memory Window Expansion in Ferroelectric FETs for Vertical NAND Applications AU - Ranie Jeyakumar AU - Prasanna Venkatesan AU - Lance Fernandes AU - Salma Soliman AU - Priyankka Ravikumar AU - Taeyoung Song AU - Chengyang Zhang AU - Woohyun Hwang AU - Kwangyou Seo AU - Suhwan Lim AU - Wanki Kim AU - Daewon Ha AU - Shimeng Yu AU - Suman Datta AU - Asif Khan PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2603.10127 ID - 2603.10127 ER -