TY  - RPRT
TI  - RF magnetron sputtering deposition of multilayers optical filters for ultra-broadband applications with a large number of thin layers
AU  - Maxime Duris
AU  - Bryan Horcholle
AU  - Cédric Frilay
AU  - C. Labbe
AU  - Xavier Portier
AU  - Philippe Marie
AU  - Sylvain Duprey
AU  - Franck Lemarié
AU  - Julien Cardin
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.12814
ID  - 2603.12814
ER  -