TY  - RPRT
TI  - Evaluation of polymer-metal-hybrid bonded wafer-stacks and sensor wafers for ultra-thin hybrid silicon detectors
AU  - Janna Zoe Vischer
AU  - Yannick Dieter
AU  - Jochen Dingfelder
AU  - Thomas Fritzsch
AU  - Fabian Hügging
AU  - Kevin Kröninger
AU  - Maximilian Mucha
AU  - Matthias Schüssler
AU  - Jens Weingarten
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.13992
ID  - 2603.13992
ER  -