TY  - RPRT
TI  - First Plasma Atomic Layer Etching of Diamond via O$_2$/Kr Chemistry
AU  - Duc Duy Tran
AU  - Cedric Mannequin
AU  - Aboulaye Traore
AU  - Masahiro Sasaki
AU  - Etienne Gheeraert
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.21159
ID  - 2603.21159
ER  -