TY  - RPRT
TI  - Small-Data Machine Learning Uncovers Decoupled Control Mechanisms of Crystallinity and Surface Morphology in $β$-Ga2O3 Epitaxy
AU  - Min Peng
AU  - Yuanjun Tang
AU  - Dianmeng Dong
AU  - Yang Zhang
AU  - Cheng Wang
AU  - Shulin Jiao
AU  - Xiaotong Ma
AU  - Shichao Zhang
AU  - Jingchen Wang
AU  - Huiying Wang
AU  - Yongxin Zhang
AU  - Huiping Zhu
AU  - Yue-Wen Fang
AU  - Fan Zhang
AU  - Zhenping Wu
PY  - 2026
DO  - 10.1016/j.apsusc.2026.168118
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.21814
ID  - 2603.21814
ER  -