TY  - RPRT
TI  - Oxide-Nitride Heteroepitaxy for Low-Loss Dielectrics in Superconducting Quantum Circuits
AU  - David A. Garcia-Wetten
AU  - Mitchell J. Walker
AU  - Peter G. Lim
AU  - André Vallières
AU  - Maria G. Jimenez-Guillermo
AU  - Miguel A. Alvarado
AU  - Dominic P. Goronzy
AU  - Anna Grassellino
AU  - Jens Koch
AU  - Vinayak P. Dravid
AU  - Mark C. Hersam
AU  - Michael J. Bedzyk
PY  - 2026
DO  - 10.1021/acsnano.6c09621
UR  - https://arxiv.org/abs/2603.29065
ID  - 2603.29065
ER  -