TY - RPRT TI - Inverse Design of Optical Multilayer Thin Films using Robust Masked Diffusion Models AU - Jonas Schaible AU - Asena Karolin Özdemir AU - Charlotte Debus AU - Sven Burger AU - Achim Streit AU - Christiane Becker AU - Klaus Jäger AU - Markus Götz PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2604.01106 ID - 2604.01106 ER -