TY - RPRT TI - Direct laser micromachining of superconducting terahertz Josephson plasma emitters AU - Reo Yamaguchi AU - Takuma Sakurai AU - Kazuhiro Yamaki AU - Akinobu Irie AU - Junichiro Kato AU - Taichiro Nishio AU - Shigeyuki Ishida AU - Hiroshi Eisaki AU - Manabu Tsujimoto PY - 2026 DO - 10.1063/5.0338777 UR - https://arxiv.org/abs/2604.14485 ID - 2604.14485 ER -