TY  - RPRT
TI  - Tantalum Damascene Coplanar Waveguide Resonators Fabricated Using 300 mm Scale Processes
AU  - Ekta Bhatia
AU  - Yingge Du
AU  - Krishna P Koirala
AU  - Chung Kow
AU  - Mingzhao Liu
AU  - Juan Macy
AU  - Tharanga R. Nanayakkara
AU  - Francisco Ponce
AU  - Satyavolu S. Papa Rao
AU  - Drew J. Rebar
AU  - Peter V. Sushko
AU  - Brent A VanDevender
AU  - Chongmin Wang
AU  - Marvin G. Warner
AU  - Zhihao Xiao
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2604.22086
ID  - 2604.22086
ER  -