TY  - RPRT
TI  - Full-chip CMP modelling based on Fully Convolutional Network leveraging White Light Interferometry
AU  - Jules Exbrayat
AU  - Renan Bouis
AU  - Elie Sezestre
AU  - Viorel Balan
AU  - Arnaud Cornelis
AU  - Damien Hebras
AU  - Catherine Euvrard
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2605.05062
ID  - 2605.05062
ER  -