TY  - RPRT
TI  - Development of Small-pitch, Ultra-thin 3D Silicon Sensors at USTC
AU  - Kuo Ma
AU  - De Zhang
AU  - Shengjia He
AU  - Tian-ao Wang
AU  - Han Li
AU  - Yu Nie
AU  - Xiuxia Wang
AU  - Jinlan Peng
AU  - Zheng Liang
AU  - Xiang Li
AU  - Wenhua Shi
AU  - Manwen Liu
AU  - Chuan Liao
AU  - Zheng Li
AU  - Zebo Tang
AU  - Yanwen Liu
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2605.13281
ID  - 2605.13281
ER  -