TY  - RPRT
TI  - Holographic EUV Lithography at 40 nm Resolution
AU  - Ziqi Li
AU  - Iason Giannopoulos
AU  - Lisong Dong
AU  - Dimitrios Kazazis
AU  - Xu Ma
AU  - Zongqiang Yu
AU  - Zhiyuan Niu
AU  - Yasin Ekinci
AU  - Yayi Wei
AU  - Iacopo Mochi
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2605.21430
ID  - 2605.21430
ER  -