TY  - RPRT
TI  - SC-1 Etching of Niobium and Titanium Nitride Thin Films
AU  - Adrián Gutiérrez-Cruz
AU  - K. A. C. Rathnathilaka
AU  - Jani M. Taskinen
AU  - Tuomas Vaimala
AU  - Kestutis Grigoras
AU  - Harshad Mishra
AU  - Rishabh Upadhyay
AU  - Jorden Senior
AU  - Alberto Ronzani
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2605.28343
ID  - 2605.28343
ER  -