TY  - RPRT
TI  - LithoGRPO: Fast Inverse Lithography via GRPO Reinforced Flow Matching
AU  - Yao Lai
AU  - Xuyuan Xiong
AU  - Zeyue Xue
AU  - Guojin Chen
AU  - Jing Wang
AU  - Xihui Liu
AU  - Rui Zhang
AU  - Robert Mullins
AU  - Bei Yu
AU  - Ping Luo
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2606.00228
ID  - 2606.00228
ER  -