TY  - RPRT
TI  - Low Distortion Fusion Bonding using Pneumatically Warped Wafers
AU  - Utkarsh Jain
AU  - Koen D'have
AU  - Philipp Schmidt
AU  - Damien Leech
AU  - Serena Iacovo
AU  - Philippe Muller
AU  - Dennis Bumuller
AU  - Thomas Schmidt
AU  - Koen Kennes
AU  - Steven Brems
AU  - Eric Beyne
PY  - 2026
DO  - 10.1109/ectc51846.2026.00222
UR  - https://arxiv.org/abs/2606.04625
ID  - 2606.04625
ER  -