TY - RPRT TI - Wafer-scale Demonstration of High-voltage beta-Ga2O3 MOSFETs with Excellent Uniformity and over 3kV Breakdown Voltages AU - Ningtao Liu AU - Hengrui Zhang AU - Shujun Zhu AU - Zhihao Yan AU - Dongyang Han AU - Shen Hu AU - Li Ji AU - Ning Xia AU - Jichun Ye AU - Wenrui Zhang PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2606.07973 ID - 2606.07973 ER -