TY  - RPRT
TI  - Ultra-high Q-factor superconducting tantalum resonators on 300 mm Si wafers
AU  - R. Acharya
AU  - D. Perez Lozano
AU  - Ts. Ivanov
AU  - S. Massar
AU  - C. Vrancken
AU  - Y. Canvel
AU  - Y. Li
AU  - A. M. Vadiraj
AU  - J. Van Damme
AU  - S. Aghaeimeibodi
AU  - A. Khalajhedayati
AU  - M. Mongillo
AU  - O. Painter
AU  - D. Wan
AU  - A. Potočnik
AU  - K. De Greve
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2606.10719
ID  - 2606.10719
ER  -