TY  - RPRT
TI  - Determination of the intrinsic mechanical quality factor in high-stress silicon nitride resonators
AU  - Geena Benga
AU  - Vincent Dumont
AU  - Wei Wang
AU  - Nicola Cavalleri
AU  - Ariane Giesriegl
AU  - Silvan Schmid
AU  - Christian L. Degen
AU  - Antonius Armanious
AU  - Alexander Eichler
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2606.20354
ID  - 2606.20354
ER  -