TY  - RPRT
TI  - Alignment-Free Nanometric Optical Metrology Enabled by Structured Light
AU  - Yu Wang
AU  - Benquan Wang
AU  - Eng Aik Chan
AU  - Songze Li
AU  - Zhenyu Guo
AU  - Xi Xie
AU  - Masako Kishida
AU  - Che-Chin Chen
AU  - Yijie Shen
AU  - Jun-Yu Ou
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2606.22366
ID  - 2606.22366
ER  -