TY  - RPRT
TI  - LithoDreamer: A Physics-Informed World Model for Multi-Stage Computational Lithography
AU  - Yuqi Jiang
AU  - Yumeng Liu
AU  - Zimu Li
AU  - Jinyuan Deng
AU  - Qian Jin
AU  - Yucheng Cui
AU  - Yu Li
AU  - Xunzhao Yin
AU  - Qi Sun
AU  - Cheng Zhuo
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2606.26713
ID  - 2606.26713
ER  -