TY  - RPRT
TI  - Determining Electron Beam Lateral Coherence in a Scanning Electron Microscope Using Electron Diffraction
AU  - Evelijn Akerboom
AU  - Fatemeh Kiani
AU  - Giulia Tagliabue
AU  - Wiebke Albrecht
AU  - Joanne Etheridge
AU  - F. Javier García de Abajo
AU  - Albert Polman
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2606.28056
ID  - 2606.28056
ER  -