TY  - RPRT
TI  - Monolithic Integration of Piezo-Optomechanical Photonics and CMOS Electronics
AU  - Matthew Zimmermann
AU  - Aileen Zhai
AU  - Andrew J. Leenheer
AU  - Julia Boyle
AU  - Mayank Mishra
AU  - Daniel Dominguez
AU  - Matthew Koppa
AU  - Wolf Jehle
AU  - Christopher Panuski
AU  - Mark Dong
AU  - Gerald Gilbert
AU  - Dirk Englund
AU  - Matt Eichenfield
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2607.01514
ID  - 2607.01514
ER  -