TY  - RPRT
TI  - SiMOS quantum-dot spin qubits enabled by extreme-ultraviolet lithography
AU  - Thomas Van Caekenberghe
AU  - Paul Steinacker
AU  - Bart Raes
AU  - Sofie Beyne
AU  - Clement Godfrin
AU  - Jacques Van Damme
AU  - Sylvain Baudot
AU  - Arne Loenders
AU  - Gulzat Jaliel
AU  - Stefan Kubicek
AU  - Johan De Backer
AU  - Yannick Hermans
AU  - Sugandha Sharma
AU  - Shuchi Kaushik
AU  - Yuchao Jiang
AU  - Yosuke Shimura
AU  - Roger Loo
AU  - Vukan Levajac
AU  - Kristof Moors
AU  - George Simion
AU  - Florian K. Unseld
AU  - Ensar Vahapoglu
AU  - Ajit Dash
AU  - Tuomo Tanttu
AU  - Chris C. Escott
AU  - Chih Hwan Yang
AU  - Andre Saraiva
AU  - Arne Laucht
AU  - Wee Han Lim
AU  - Nard Dumoulin Stuyck
AU  - Massimo Mongillo
AU  - Danny Wan
AU  - Andrew S. Dzurak
AU  - Kristiaan De Greve
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2607.13121
ID  - 2607.13121
ER  -