TY  - RPRT
TI  - Scalable Fabrication of Diamond-on-Silica Heterostructures via High-Selectivity Deep ICP-RIE and Room-Temperature Bonding
AU  - R. Chembra Vasudevan
AU  - A. Hammouti
AU  - J. Le Pouliquen
AU  - T. Batte
AU  - P. Pirasteh
AU  - Y. Dumeige
AU  - P. Huillery
PY  - 2026
DO  - 10.1016/j.diamond.2026.113992
UR  - https://arxiv.org/abs/2607.14978
ID  - 2607.14978
ER  -