TY - RPRT TI - From phase transformation to amorphization: damage accumulation in Yb-implanted $β-Ga_2O_3$ AU - Joanna Matulewicz AU - Renata Ratajczak AU - Ewa Grzanka AU - Maciej Oskar Liedke AU - Damian Kalita AU - Eric Hirschmann AU - Andreas Wagner AU - Mikolaj Grabowski AU - Michal A. Strozyk AU - Cyprian Mieszczynski AU - Przemyslaw Jozwik AU - Ulrich Kentsch AU - Rene Heller AU - Frederico Garrido PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2608.03798 ID - 2608.03798 ER -