TY  - RPRT
TI  - Inverse mask design for interference lithography using automatic differentiable wave propagation
AU  - Chuntian Cao
AU  - Jangwoon Sung
AU  - Jack Griffiths
AU  - Yuan Gao
AU  - Xi Yu
AU  - Paul Baity
AU  - Nikhil Tiwale
AU  - Zhitian Shi
AU  - Juhong Ahn
AU  - Shinjae Yoo
AU  - Yong S. Chu
AU  - Chang-Yong Nam
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2608.05488
ID  - 2608.05488
ER  -