TY - RPRT TI - High Thermal Conductivity of Back-End-of-Line Compatible Diamond Films AU - Jinwen Liu AU - Chufei Cheng AU - Feifei Tan AU - Jinquan Zhang AU - Di Lu AU - Bing Dai AU - Jiaqi Zhu AU - Runsheng Wang AU - Zhe Cheng PY - 2026 UR - https://arxiv.org/abs/2608.08534 ID - 2608.08534 ER -