TY  - RPRT
TI  - An Automated Magnetron Sputtering Chamber for Ferroelectric Thin Film Deposition
AU  - Stanislav A. Udovenko
AU  - Ian Mercer
AU  - Sarah Olandt
AU  - Ric Wilburn
AU  - Kevin Dressler
AU  - Susan Trolier-McKinstry
AU  - Jon-Paul Maria
AU  - Darren C. Pagan
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2608.08647
ID  - 2608.08647
ER  -